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充氦回收部分主要包括高、低壓氦氣罐、無油真空泵、氣囊、無油氦氣壓縮機、電池閥門、壓力傳感器、真空計和管道組成。能在設定的時間內對工件進行抽真空、充氦和氦回收等處理。
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