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安全操作真空燒結爐的步驟如下:
1.操作前準備:檢查設備各部件是否完好無損,電器線路是否安全可靠。檢查真空爐體內的冷卻水路是否暢通,水壓是否正常。檢查真空系統是否正常,包括真空泵、真空測量儀器等。準備好燒結所需的材料和工具,如樣品、石墨舟、鎢舟等。
2.操作步驟:將樣品放入石墨舟或鎢舟中,然后放入真空爐體內。關閉爐門,并啟動真空系統,將爐內氣壓抽到低于10-3Torr。加熱系統,將爐內溫度升至所需的燒結溫度。在燒結過程中,要密切關注爐內溫度和氣壓的變化,以及冷卻水的流量。根據需要,可以在氣氛控制系統中通入適量的氣體,如氬氣、氮氣等。當燒結過程完成后,關閉加熱系統,讓爐體自然冷卻到室溫。當爐內氣壓達到常壓時,可以打開爐門,取出燒結好的樣品。
3.操作后注意事項:每次操作結束后,要清理爐體內的廢料和石墨舟或鎢舟,保持爐體內部的清潔。定期檢查冷卻水路是否暢通,防止水路堵塞導致設備損壞。定期對設備進行維護保養,如更換真空泵油、清洗爐內壁等。操作人員要經過正規培訓,熟悉設備的基本原理和操作規程,避免誤操作導致安全事故。
請注意,操作真空燒結爐時必須嚴格遵守安全操作規程,確保安全。