真空箱檢漏系統基本功能：等壓抽真空-He檢漏-He回收-充SF6設備
設備工作的基本原理：
1、該裝置同步對工件和真空箱抽真空，使工件內外壓差不大于工件允許或需要的值（可按
產品實際情況在≤0.08MPa 范圍內任意設定）檢大漏。
2、再將真空抽到一致，然后對被檢工件充注氦氣使工件和真空箱內壓差達允許值，應用真
空箱法進行氦質譜氣密性檢測，判斷出被檢工件中的合格與不合格；有漏的工件應用吸槍法
進行氦質譜檢測，判斷出被檢工件漏點的位置。
3、然后將被檢工件內的氦氣經過濾、除水后回收，供循環使用。
4、最后向工件內充入規定壓力的 SF6 氣體。根據充氣時的環境溫度、開關使用海拔高度或
要求充氣壓力，設備可自動換算出應充壓力值并控制充氣過程；充氣時真空箱充入空氣（或
氮氣），工件充入 SF6。
